显微扫描激光测振仪

LV-MSC400-0811显微扫描激光测振仪光学头参数

尺寸（L*W*H）

470×225×126mm

重量

12.5kg

聚焦方式

固定聚焦

激光波长

He-Ne laser 632.8nm

激光功率

＜2mW

工作距离

7.9mm-19.5mm（配备不同倍率物镜；取决使用何种物镜）

扫描角度（V x H）

4° x 4°

扫描参数

角分辨率＜0.001°，角度稳定性＜0.001°/h，最大30点/s

LV-MSC400-0811显微扫描激光测振仪控制箱参数

尺寸（L*W*H）

450×421×149mm

重量

11kg

最大测量速度

±12m/s

输出电压范围

±10V

频率范围

DC～3MHz

30kHz～25MHz

滤波设置

高通、低通滤波，跟踪滤波

最大线性误差

＜±1%

速度分辨率

优于0.001μm/s/√Hz

位移分辨率

优于0.31pm

模拟输出

BNC接口输出

数字输出

RJ45千兆以太网口

低通滤波器

500Hz,1kHz,2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,50kHz,80kHz,100kHz,160kHz,250kHz,

320kHz,500kHz,1000kHz,1500kHz,3000kHz(VD-21/DD-32解码器)/

100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M解码器)

跟踪滤波器（选配）

Slow，Medium， Fast，Off

信号电平显示

反光信号强度显示、DC电压信号输出（BNC接口，0…5V）

显示

带交互式菜单引导设置的彩色屏

工作温度

+3 °C … +45 °C

存储温度

-10 °C … +65 °C

相对湿度

<90%

供电电源

100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz

防护等级

IP54

常用解码器

速度解码卡

描述

带宽

量程档位

最大测量速度

最佳速度分辨率

VS-03

中频速度解码器

0-50kHz

3

±500mm/s

0.1μm/s/√Hz

VD21

宽带数字速度解码器

0-3MHz

21

±12m/s

0.001μm/s/√Hz

位移解码卡

描述

带宽

量程档位

最大测量速位移

最佳位移分辨率

DD32

宽带数字位移解码器

0-3MHz

32

±2m

0.31pm

DD-25M

超宽带数字位移解码器

30kHz-25MHz

16

±500μm

0.31pm